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恒源煤电12月25日晚间公告，公司控股股东皖北煤电集团于12月8日至25日通过定向资产管理计划共增持公司股份1750.22万股，占比1.75%。占公司总股本的%。 %，交易均价6.279元/股，累计投资金额约1.1亿元，增持计划已完成。比如，中科院去年就宣布进军光刻机行业。特种气体的质量对于芯片工艺的精度至关重要。投影物镜是光刻机最关键的子系统。